設(shè)備型號(hào):A4586
外形尺寸:3000*2000*1800mm
兼容尺寸:4.5~8.6代線
平臺(tái)精度:00級(jí)大理石平臺(tái) + 氣浮搬運(yùn)傳輸機(jī)構(gòu)
成像配置:2D表面缺陷檢測(cè)能力:1um@明場(chǎng)
????◆ 平板顯示制作過(guò)程,圖形工藝缺陷檢查
◆ Glass基板,表面缺陷
◆ 兼容Bright Field, Dark Field 缺陷檢測(cè)模式
◆ 兼容多種算法聯(lián)合檢測(cè),配備AI深度學(xué)習(xí)及ADC功能
◆ 2D圖形缺陷檢測(cè)
◆ 2D關(guān)鍵尺寸檢測(cè)(CD/Overlap)
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