Overlay
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設(shè)備型號(hào)：OVL200
外形尺寸：4000*2000*1800mm
檢測內(nèi)容：Overlay精度量測
平臺(tái)精度：00級(jí)大理石平臺(tái)
成像配置：
IBO模式；
BoxIn Box、Bar In Bar、AlM；
OVL Precision<2nm,OVL TSl<1nm；
CD Precision<7nm(3西格瑪)；
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