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Wafer AOI

Wafer AOI

設(shè)備型號(hào):WIN-200,WIN-300


外形尺寸:1600*2600*1800mm


檢測(cè)內(nèi)容:4/6/8 inch Wafer,可擴(kuò)展支持8~12inch


平臺(tái)精度:氣浮平臺(tái),精度可達(dá)<0.05um


成像配置:缺陷檢測(cè)能力:100nm@明場(chǎng)

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